本帖最后由 hurui 于 2020-10-20 16:21 编辑
2. 多种用途激光雷达的MEMS振镜参考总体而言，MEMS振镜的FoM值越大，越利于激光雷达性能提升。相较而言，单轴MEMS振镜因整体结构更为简便，所以更容易得到更大的扫描角度，更大的光学孔径和更高的谐振频率
四、基于双轴MEMS振镜的激光雷达双轴MEMS振镜因其具有两个转动轴，因此有三种扫描模式：双轴谐振、单轴谐振/单轴非谐振、双轴均非谐振。 因双轴MEMS振镜结构及工艺较为繁杂，其扫描角度一般较小，图中所示的双轴振镜其扫描角度约为15°×11°，一般需要配合外围光学器件才可将FoV扩展到45°×11°。 美国佛罗里达大学的谢会开教授领导的研究团队对市面上34款不同规格的双轴MEMS振镜的本征参数和FoM值进行了深入的研究和计算，其中仅有6款MEMS振镜的FoM值大于0.7，其余28款MEMS振镜的FoM均小于0.7。
五、基于单轴MEMS振镜的激光雷达 基于单轴振镜的MEMS激光雷达中，单轴MEMS振镜配合配合激光扩束透镜，可以使得一维MEMS振镜实现激光光束在水平方向和竖直方向的同步扫描。单轴MEMS振镜的激光雷达工作状态分为谐振式和非谐振式两种。另外，也有部分厂商将单轴MEMS振镜放置在旋转电机上，以实现二维扫描。 同样，美国佛罗里达大学的谢会开教授领导的研究团队也对市面上二十余款不同规格的单轴MEMS振镜的本征参数和FoM值进行了深入的研究和计算，其中FoM值大于1的MEMS振镜超过50%，FoM大于0.7的超过14款，且单轴MEMS振镜的激光雷达以“线”扫“面”，天然上拥有更高的帧率。
知微传感是国内MEMS振镜领域内的领军企业，在静电驱动、电磁驱动两种驱动技术，以及光学反馈和电容反馈两种检测技术上均有深厚的技术积累和布局。目前有4款C系列MEMS芯片已完成量产工艺导入，支持批量交付，其部分本征参数及FoM值如表-2所示。FoM值均大于0.7，适用于自动驾驶、盲区监测、人机交互、MAVs、机器人等激光雷达应用领域，欢迎垂询。 知微传感是国内MEMS振镜领域内的领军企业，在静电驱动、电磁驱动两种驱动技术，以及光学反馈和电容反馈两种检测技术上均有深厚的技术积累和布局。目前有4款C系列MEMS芯片已完成量产工艺导入，支持批量交付，其部分本征参数及FoM值如表-2所示。FoM值均大于0.7，适用于自动驾驶、盲区监测、人机交互、MAVs、机器人等激光雷达应用领域，欢迎垂询。
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